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多功能快速退火炉
快速热处理退火炉简称RTP(RapidThermalProcessingFurnace)，由我公司借鉴了国际先进制造工艺，在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S，而且降温速率也有了质的飞跃，降温速率100℃/S。 应用领域 Ø快速热退火(RTA);离子注入后退火 Ø石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长 Ø快速热氧化(,RTO);热氮化(RTN); Ø硅化(S
所属分类：
快速退火炉
产品描述
快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace)，由我公司借鉴了国际先进制造工艺，在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S，而且降温速率也有了质的飞跃，降温速率100℃/S。
应用领域
Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 扩散 (Diffusion);
Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 电极合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
主要特点
Ø 极速升温100℃/S，极速降温100℃/S;
Ø 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀;
Ø 样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格(选配);
技术参数：
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产品名称 |
RTP快速升温炉 |
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产品型号 |
RTP1100 |
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额定温度 |
1100℃ |
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温场均匀性 |
±2℃ |
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炉膛升温速率 |
≥100℃/S |
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最快降温速率 |
≥100℃/S |
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操控系统 |
智能AIO操作系统 |
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操作界面 |
7英寸触摸屏 |
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加热方式 |
短波红外线加热 |
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加热腔体结构 |
双层石英管 |
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外管直径 |
100mm |
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内管直径 |
80mm |
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气体保护方式 |
外管进气，内管出气 |
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超温保护 |
温度出现过高时切断主回路 |
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式样有效空间 |
70*100mm |
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真空系统 |
8L/S双级联真空系统（选配） |
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整机真空度 |
3Pa |
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真空启动方式 |
根据程序设置自动启停 |
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抽气端口尺寸 |
KF16 |
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供气口尺寸 |
1/4英寸双卡套 |
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法兰冷却方式 |
水冷（短时间无需水冷）（可选配水冷机） |
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真空显示 |
真空压力表（可选配数显真空计） |
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上位机操控 |
基于安卓系统APP（选配） |
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数据导出方式 |
APP导出Excel表格（选配） |
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额定功率 |
12kw |
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外形尺寸 |
950*500*560mm |
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重量 |
50kg |
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配件 |
管堵2支，法兰水冷套1支，耐温手套1双，坩埚钳1把，说明书1本。 |
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