纳米科技 Nano technology
干泵国产
1.技术指标 2.特点 抽速范围广，从1升/秒到17升/秒 适用于全球电源电压与频率，110/220/380/460V,50/60Hz 高效环保，不返油也不喷油，创造洁净真空和洁净工作环境 操作简单，能在大气压和真空之间频繁启动与关闭 低振动，低噪音，低能耗 重量轻、体积小 3.用途 镀膜，PVD/CVD/LPD LED/LCD/激光管抽真空与封装 真空炉/单晶炉/烘箱 电
所属分类：
真空泵系列
产品描述
1.技术指标
|
型号 |
GWSP75 |
GWSP150 |
GWSP300 |
GWSP600 |
GWSP1000 |
||||||
|
抽速 |
50Hz |
L/s |
1.0 |
2.0 |
4.3 |
8.7 |
16.6 |
||||
|
L/min |
60.0 |
120.0 |
258.0 |
522.0 |
996.0 |
||||||
|
m3/h |
3.6 |
7.2 |
15.5 |
31.3 |
59.8 |
||||||
|
cfm |
2.2 |
4.3 |
9.3 |
18.7 |
35.8 |
||||||
|
60Hz |
L/s |
1.2 |
2.4 |
5.1 |
10.4 |
19.9 |
|||||
|
L/min |
72.0 |
144.0 |
306.0 |
624.0 |
1194.0 |
||||||
|
m3/h |
4.3 |
8.6 |
18.3 |
37.4 |
71.6 |
||||||
|
cfm |
2.5 |
5.1 |
10.9 |
22.3 |
42.8 |
||||||
|
极限真空度 |
Pa |
≤8.0 |
≤6.0 |
≤2.6 |
≤1.0 |
≤1.0 |
|||||
|
Torr |
≤6.0×10-2 |
≤4.0×10-2 |
≤1.9×10-2 |
≤7.5×10-3 |
≤7.5×10-3 |
||||||
|
psi |
≤1.2×10-3 |
≤9.0×10-4 |
≤3.8×10-4 |
≤1.4×10-4 |
≤1.4×10-4 |
||||||
|
噪音 |
dB(A) |
≤52 |
≤57 |
≤60 |
≤61 |
≤63 |
|||||
|
漏率 |
Pa·m3/s |
1×10-8 |
|||||||||
|
最大进/排气压力 |
MPa |
0.1 / 0.13 |
|||||||||
|
工作环境温度 |
℃ |
5～40 |
|||||||||
|
冷却形式 |
|
风冷 |
|||||||||
|
进/排气口法兰 |
|
KF25/KF16 |
KF25/KF16 |
KF25/KF16 |
KF40/KF16 |
KF40/KF16×2 |
|||||
|
单相 |
功率 |
kW |
0.25 |
0.25 |
0.55 |
0.75 |
-- |
||||
|
电压 |
V |
200～230，50Hz；或110～115V，60Hz |
-- |
||||||||
|
转速 |
rpm |
1425(50Hz)；1725(60Hz) |
-- |
||||||||
|
接头形式 |
|
北美、欧洲、英国/爱尔兰、印度 |
-- |
||||||||
|
三相 |
功率 |
kW |
-- |
0.37 |
0.55 |
0.75 |
1.50 |
||||
|
电压 |
V |
-- |
200～230V与380～415V，50Hz；或200～230V与460V，60Hz |
||||||||
|
转速 |
rpm |
-- |
1425(50Hz)；1725(60Hz) |
||||||||
|
外形 |
单相 |
mm |
405×225×260 |
425×250×280 |
495×290×340 |
530×316×360 |
-- |
||||
|
三相 |
mm |
-- |
430×250×280 |
495×290×340 |
505×316×360 |
580×360×400 |
|||||
|
包装尺寸 |
mm |
570×390×470 |
570×390×470 |
690×540×570 |
690×540×570 |
750×530×550 |
|||||
|
净重 |
单相 |
kg |
15 |
18 |
27 |
31 |
-- |
||||
|
三相 |
kg |
-- |
20 |
31 |
38 |
52 |
|||||
|
毛重 |
单相 |
kg |
20.5 |
23 |
35.5 |
39.5 |
-- |
||||
|
三相 |
kg |
-- |
26 |
39.5 |
45.5 |
67.5 |
|||||
|
其它 |
|
带气镇阀 |
|||||||||
2.特点
抽速范围广，从1升/秒到17升/秒
适用于全球电源电压与频率，110/220/380/460V,50/60Hz
高效环保，不返油也不喷油，创造洁净真空和洁净工作环境
操作简单，能在大气压和真空之间频繁启动与关闭
低振动，低噪音，低能耗
重量轻、体积小
3.用途
镀膜，PVD/CVD/LPD
LED/LCD/激光管抽真空与封装
真空炉/单晶炉/烘箱
电子束焊接/激光焊接
手套箱/排气台
预处理室/样品传输室抽真空
激光管抽真空/封接
真空检漏/He质谱检漏
稀有/特殊气体回收/再循环
冷凝泵再生
分子泵前级
空间环境模拟
表面分析仪器/能谱仪/扫描电镜
光束线
4.性能曲线
GWSP系列干式涡旋真空泵真空度与抽气时间关系曲线
GWSP系列干式涡旋真空泵抽气速度与进气压力关系曲线
5.外形尺寸
|
|
A |
B |
C |
D |
E |
F |
G |
H |
M |
N |
K |
d1 |
d2 |
|
GWSP75 |
405 |
225 |
260 |
200 |
192 |
114 |
72 |
131 |
146 |
225 |
125 |
KF25 |
KF16 |
|
GWSP150 |
430 |
250 |
280 |
220 |
214 |
129 |
86 |
130 |
155 |
250 |
135 |
KF25 |
KF16 |
|
GWSP300 |
495 |
290 |
340 |
226 |
252 |
163 |
87 |
174 |
192 |
288 |
140 |
KF25 |
KF16 |
|
GWSP600 |
530 |
316 |
360 |
275 |
252 |
170 |
115 |
178 |
206 |
288 |
165 |
KF40 |
KF16 |
|
GWSP1000 |
580 |
360 |
400 |
336 |
267 |
184 |
121 |
195 |
224 |
303 |
191 |
KF40 |
KF16×2 |
6.使用注意事项
不能抽对人体有害或者易爆、易燃或腐蚀性气体，或者含有化学品、溶剂、以及能生成粉末的物质，以免由于毒气、爆炸或者燃烧引起人身伤害。
进气温度不能超过50℃，如果超过该温度，必须在进气管路上安装冷却装置，使进气温度低于50℃。
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