纳米科技 Nano technology
小型快速退火炉
此款小型快速退火炉是集成仪最巧妙的结构设计和独特的加热方式与一体，使得体积和功率都大幅减小的同时，升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空，满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。 应用范围： Ø快速热退火(RTA);离子注入后退火 Ø石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长 Ø快速热氧化(,RTO);热氮化(RTN); Ø硅化(Silicidation); Ø
所属分类：
快速退火炉
产品描述
此款小型快速退火炉是集成仪最巧妙的结构设计和独特的加热方式与一体，使得体积和功率都大幅减小的同时，升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空，满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。
应用范围：
Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 扩散 (Diffusion);
Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 电极合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
主要特点：
Ø 极速升温20℃/S，极速降温20℃/S;
Ø 控温稳定，恒温精度≤1℃
Ø 体积小巧，使用功率只有1kw;
Ø 超高光线反射效率，无需炉膛保温;
技术参数：
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产品名称 |
mini快速退火炉 |
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产品型号 |
RTP1000S |
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极限温度 |
1000℃ |
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额定温度 |
1000℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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最快升温速率 |
20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S) |
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最快降温速率 |
随炉冷却75℃/min 物料台拉出降温800℃/min |
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控制方式 |
智能PID |
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加热方式 |
短波红外线加热 |
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加热腔体结构 |
石英管 |
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样品冷却 |
自然冷却或通入冷却气体 |
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冷却气体调节 |
浮子流量计(100～1000ml/min)（选配） |
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超温保护 |
温度出现过高时切断主回路 |
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恒温区尺寸 |
35mm |
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载料体尺寸 |
30*25mm |
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传感器类型 |
K型 |
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真空系统 |
1L/S 双级联真空系统 CHY-4C（选配） |
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整机真空度 |
3Pa（选配CHY-4C真空泵） |
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抽气端口尺寸 |
KF16 |
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供气口尺寸 |
1/4英寸双卡套 |
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额定功率 |
1.5kw |
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额定电压 |
AC220V,50Hz |
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重量 |
15kg |
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配件 |
坩埚钳1把，说明书1本。 |
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外形尺寸 |
610x400x410（长*宽*高） |
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