纳米科技 Nano technology
源瓶
源瓶(起泡器)用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、常压、中低压的危险化学品，所以对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要求。 源瓶特点： 1、所有管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≦0.25微米; 2、阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK隔膜阀供选择; 3、密封垫片选用纯银镀镍垫片; 4、氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mb
所属分类：
原子层沉积镀膜设备
产品描述
源瓶(起泡器)用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、常压、中低压的危险化学品，所以对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要求。
源瓶特点：
1、所有管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≦0.25微米;
2、阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK隔膜阀供选择;
3、密封垫片选用纯银镀镍垫片;
4、氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;
5、可盛装化学品纯度≧99.9995;
6、总残余元素量≦50PPb;
7、坠落试验，通过国家商检部门检测;
8、介质，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;
9、可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的交叉清扫处理等;
10、可提供非标定做。
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