1. 设备简介

　　该设备是一款桌面型电阻蒸发镀膜仪，主要特点是小型一体化结构，将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，结构简单紧凑，对实验室供电要求低，设备稳定性好；另外自主开发的智能触摸屏操作系统实现全图形化界面，易于操作，在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。该设备配1组水冷式电阻蒸发源（可兼容金属与有机蒸发，适应相应的镀膜材料），1台2KW直流蒸发电源，具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用；

　　该设备主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、教学演示、操作培训等。可用来开发纳米级单层金属导电膜、有机薄膜等。

2. 主要技术参数

　　2.1 腔室尺寸：Ф180×180mm（具体尺寸以设计为准），采用优质不锈钢材质+石英玻璃结构，氩弧焊接；

　　2.2 样品台尺寸：Ф50mm，可旋转：0-20r/min可调，并配有手动基片台挡板；

　　2.3 真空系统：1台旋片式机械泵（RV2，2L/s），GD-KF25手动挡板阀；

　　2.4 极限真空：8.0×10-1Pa；

　　2.6 真空测量：单电阻真空计，测量范围：大气～10-1Pa；

　　2.7 蒸发源：1组水冷式电阻蒸发源，可兼容金属与有机蒸发；

　　2.8 蒸发电源：直流蒸发电源1台，0 W～2000W连续可调，具有恒流输出功能；2.9 膜厚控制系统：FTM-107A单水冷探头膜厚仪，测量精度1Å；

　　2.10控制方式：触摸屏人机界面控制系统，实现全图形化界面，易用易懂；

　　2.11设备外形：机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口；

　　2.12 设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；

　　2.13 冷却循环系统：设备集成有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）；

3. 设备主要配置表

4. 设备主要优势

　　4.1 实用性：

　　4.1.1 设备集成度高，结构紧凑，占地面积小，可以放置于实验桌面上即可；

　　4.1.2 自主研发的水冷式高温电阻蒸发源可以蒸镀一些熔点高的难熔金属，比如Ti等；

　　4.2 方便性：

　　4.2.1 设备具有前开门及上开盖的功能，方便取放样品及日常维护；

　　4.2.2 设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接线及安装调试简单，既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁性；

　　4.2.3 设备可将主机置于手套箱内，水、电、气等通过KF40接口接到手套箱外，与手套箱的对接灵活方便；

　　4.2.4 设备工作电压为220V，整机功率小于2KW，对实验室的供电要求低；

　　4.3 稳定性：

　　4.3.1设备主要零部件采用进口或国内知名品牌，保证了设备的质量及稳性；

　　4.4 先进性：

　　4.4.1 独立开发的PLC+触摸屏智能操作系统，具有智能控制模式和调试维修模式；

　　4.4.2 控制系统具备漏气自检与提示功能，当设备漏气时，系统会自动提示设备漏气，以便用户进行检漏，保证设备正常稳定运行；

　　4.4.3 控制系统具备保养维护提示功能，当设备运行达到一定时长，系统会自动提示设备需要维护保养，以便用户及时进行维护，保证设备正常稳定运行；

　　4.4.4 控制系统具备通讯故障自检功能，系统对分子泵、蒸发电源、真空规、电机等部件的通讯进行自检，如果某个部件出现故障，可以按照系统中的各部件故障查询办法进行查询，及时确认故障原因，保证设备安全；

　　4.4.5 控制系统具备数据记录与导出功能，控制系统记录设备的操作记录及镀膜过程数据，可以在系统中查看这些数据，也可以用U盘导出这些数据；

　　4.4.6 该系统具备三个等级级密码保护功能，不同等级不同使用权限，确保设备的安全性和数据的保密性；

5. 设备安装条件（用户自备）

　　5.1 供电要求

　　5.1.1 设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制(一火一零一地)；

　　5.1.2 插座距离设备尺寸≤2m；

　　5.1.3 其它：如用户选配其它选购件，用户自行准备增配件的供电要求，不在安装条件范围内；

　　5.2 供水要求

　　5.2.1 设备需水冷的部件有蒸发电极、膜厚仪探头(如选配膜厚控制系统)；

　　5.2.2 水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃；

　　5.3 安装场地大小要求

　　设备尺寸为：L60cm×W60cm×H80cm，建议安装场地尺寸≥L60cm×W80cm。

　　5.4 其他要求

　　5.4.1 环境温度：5～40℃；

　　5.4.2 环境湿度：<85% R.H；

　　5.4.3 室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体；

6. 设备服务承诺

　　尊敬的客户：

　　首先感谢您对我们公司产品的信任！

　　我公司本着“以最合理的价格、最完善的服务、提供最优质的产品”的宗旨向您郑重承诺：

　　6.1 售后服务承诺

　　6.1.1 产品质保期为一年；

　　6.1.2 在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏；

　　6.1.3 在质保期外设备零部件的损坏，提供的配件只收成本费；

　　6.1.4 质保期内或质保期外如设备出现故障，供方接到用户的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于48小时内，赶到技术服务现场并开始维修。

　　6.2 验收

　　6.2.1 我公司负责将设备初验收合格后，包装好免费运送至客户所在地，经检验后拆封，供方开始安装调试，运输费用及安装调试费用我司负责；

　　6.2.2 我公司根据客户要求，负责组织专业人员对设备进行安装调试，客户需提供基本的安装条件和专人配合，以确保安装调试的顺利进行；

　　6.2.3 设备安装调试到位后，双方组织验收，并对验收单进行验收签字；

　　6.2.4 我公司向客户提供的设备资料包括：设备说明书、验收单、装箱单、产品合格证、备品备件清单；

　　6.2.5 我公司在客户安装现场进行的设备验收发生的一切费用由我司承担；

　　6.3 培训

　　6.3.1 我公司派技术工程师对客户人员在设备安装调试时进行技术培训。使需方人员能掌握有关设备的使用、维护，达到能独立进行操作、维护等的目的。

　　6.3.2 培训地点为客户设备使用现场，培训人数不少于2人，培训时间根据实际情况而定，培训费用由我司承担。