北京维意真空技术应用有限责任公司
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设备集成 Equipment integration
等离子发生器
等离子发生器是通过感应线圈电离气体，增强离子反应活性，降低反应温度。
所属分类：
等离子体增强化学气象沉积设备
产品描述
一、射频电源
信号频率 13.56 MHz±0.005% ；功率输出范围 3W-300W ；功率稳定度 ±0.1% ；谐波分量 ≤-50dbc ；供电电压 单相交流（187V-253V）;频率50/60HZ ；冷却方式 强制风冷。
二、气路系统
4气路采用D07-7K系列质量流量计 ；准确度：±1.5% ；重复精度：±0.2% ；响应时间：气特性：1～4 Sec；电特性：10 Sec ；工作压差范围：0.1～0.5 MPa ；气体种类及流量范围CO2: 10 sccm；H2: 50 sccm；O2: 200 sccm；Ar: 500 sccm；与探针台对接法兰KF50 配充气阀门和正压真空表；石英管外径50mm长度1m。
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