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腔体定制 Customized cavity design
真空Z轴中空导入器
精密Z轴中空真空直线导入器 主要参数 适用范围：105～1x10-7Pa 真空漏率：≤1x10-9Pa.m3/s 适用温度：-30℃～150℃ 驱动方式：手动或电机驱动 驱动方向：直线 安装状态：任意方向 连接方式：CF法兰或客户指定 主要材料：SUS304
所属分类：
真空馈通
产品描述
精密Z轴中空真空直线导入器
主要参数
适用范围：105～1x10-7Pa
真空漏率：≤1x10-9Pa.m3/s
适用温度：-30℃～150℃
驱动方式：手动或电机驱动
驱动方向：直线
安装状态：任意方向
连接方式：CF法兰或客户指定
主要材料：SUS304
精密z轴中空真空直线导入器是超高真空环境下直线传输样品的重要装置；
采用高品质的焊接波纹管进行轴向密封；
一端法兰与真空腔体连接，另一端通过中空孔径快速装入样品或更换样品；
在保证超高真空密封的同时，通过手动调节手轮，带动蜗轮蜗杆（传动比为20），传递给进给丝杆，实现高精度的直线驱动（驱动精度达到0.02mm）；
也可和步进电机（本产品采用闭环伺服步进电机）组合，实现电控操作性能；
本产品的主要特点有：超高真空应用，超低放气率；传动平稳；
可根据客户的具体规格和应用来定制不同驱动长度、不同驱动方式和驱动精度。
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