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设备集成 Equipment integration
手动磁控溅射镀膜机
此款手动磁控溅射镀膜机具备以下几个优点： 1、目前高校包括研究所的实验室面积都比较紧张，所以此款小型磁控溅射镀膜机紧凑的设计更为合适; 2、配置3个3英寸可调节高度及角度的电控挡板磁控溅射靶(可选择高磁靶可镀铁、镍等磁性材料); 3、配置1个4英寸可旋转、可加热、可加装偏压电源的样品台; 4、配置离子活化装置; 5、配置内隔板便于清理和带挡板的观察窗; 6、配置腔室烘烤加热装置
所属分类：
磁控溅射镀膜机
产品描述
此款手动磁控溅射镀膜机具备以下几个优点：
1、目前高校包括研究所的实验室面积都比较紧张，所以此款小型磁控溅射镀膜机紧凑的设计更为合适;
2、配置3个3英寸可调节高度及角度的电控挡板磁控溅射靶(可选择高磁靶可镀铁、镍等磁性材料);
3、配置1个4英寸可旋转、可加热、可加装偏压电源的样品台;
4、配置离子活化装置;
5、配置内隔板便于清理和带挡板的观察窗;
6、配置腔室烘烤加热装置;
7、配置高真空获得及测量装置;
8、配置膜厚实时监控测量装置;
9、配置3路质量流量计充气系统。
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