北京维意真空技术应用有限责任公司
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设备集成 Equipment integration
超高真空磁控溅射镀膜机
超高真空磁溅射镀膜机配置样品室作为缓冲室，主腔室长期处于超高真空状态，满足更高镀膜质量要求的客户需求。
所属分类：
磁控溅射镀膜机
产品描述
此款全自动磁控溅射镀膜机具备以下几个优点：
1、目前高校包括研究所的实验室面积都比较紧张，所以此款小型磁控溅射镀膜机紧凑的设计更为合适；
2、配置3个3英寸可调节高度及角度的电控挡板磁控溅射靶（可选择高磁靶可镀铁、镍等磁性材料）；
3、配置1个4英寸可旋转、可加热、可加装偏压电源的样品台；
4、配置离子活化装置；
5、配置内隔板便于清理和带挡板的观察窗；
6、配置腔室烘烤加热装置；
7、配置高真空获得及测量装置；
8、配置膜厚实时监控测量装置；
9、配置3路质量流量计充气系统。
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