北京维意真空技术应用有限责任公司
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设备集成 Equipment integration
四工位传递机构
产品简介 应用本系统可以组建多真空室镀膜系统（团簇式多室镀膜系统），实现各真空室间样品全自动取送和传递。本系统采用西门子伺服控制系统实现传递机械手运行控制，运行可靠，精准、快速。
所属分类：
设备集成
产品描述
一、 产品简介
应用本系统可以组建多真空室镀膜系统（团簇式多室镀膜系统），实现各真空室间样品全自动取送和传递。本系统采用西门子伺服控制系统实现传递机械手运行控制，运行可靠，精准、快速。
● 全自动样品传递控制
● 四工位、六工位系统
● 触屏操作，运行参数可设置
● RS232外控接口
● 外挂样品库
二、 技术参数
1、传递室
| 项目 | 四工位传递机构 | 四工位传递机构 | 说明 |
| 供电电压 | AC220V/50Hz/1.2kW | ||
| 传递工位数 | 4 | 6 | 包含样品库位 |
| 传递室尺寸 | 420 x 420mm | 580 x 580mm | |
| 驱动臂长度 | 140mm | 200mm | |
| 样品直径： | <=200mm | 大尺寸可定制 | |
| 最大传递距离 | 540mm | 820mm | 样品直径=100mm |
| 490mm | 770mm | 样品直径=200mm | |
| 外接真空室直径 | <=480mm | <=886mm | 样品直径=100mm |
| <=380mm | <=786mm | 样品直径=200mm | |
| 机械手升降距离 | <=12mm | ||
| 传递样品厚度 | 0.3~4mm | ||
| 真空接口规格 | KF40 | ||
| 极限真空度 | 3.0x10-4Pa（分子泵） | ||
| 操作界面 | 触摸屏 | ||
| 外控接口 | RS232、ModBus协议 | ||
| 使用环境温度 | <35℃ | ||
| 使用环境湿度 | <75%(相对湿度)不结露 | ||
| 使用环境海拔 | <2000m | ||
| 外型尺寸 | 420x420x1300mm | 580x580x1300mm | (长x宽x高) |
| 重量 | 约85Kg | 约105Kg | 不包含真空机组、隔离阀 |
2、四工位传递机构结构参数
3、六工位传递机构结构参数
4、样品库
| 项目 | 100mm | 200mm | 说明 | |
| 库位数 | 10 | |||
| 库位间距 | 10mm（可定制） | |||
| 样品直径 | 100mm | 200mm | ||
| 样品厚度 | 0.3~4mm（可定制） | 最大厚度=间距-6 | ||
| 真空接口规格 | KF16 | |||
| 极限真空度 | 3.0x10-4Pa（分子泵） | |||
| 使用环境温度 | <35℃ | |||
| 使用环境湿度 | <75%(相对湿度)不结露 | |||
| 使用环境海拔 | <2000m | |||
| 外型尺寸 | ||||
| 重量 | ||||
三、 系统结构
1、 系统结构框图
2、 四工位传递机构
3、 六工位传递机构
四、 样品传递流程
五、 效果图
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