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标准配件 Standard accessories
ALD阀门
ALD专用阀门其显著特点是具备脉冲开启/关闭的ms量级时间，且重复性高；再有就是洁净程度是EP级满足ALD设备的使用要求；具备高耐温版本，满足气路管道200℃的要求。使用需要注意要配合同样具备脉冲开启/关闭的ms量级时间的电磁阀，这一点很关键；同时配合使用加热器，防止堵塞或是内漏率不合格。
所属分类：
气路阀门
产品描述
ALD专用阀门其显著特点是具备脉冲开启/关闭的ms量级时间，且重复性高；再有就是洁净程度是EP级满足ALD设备的使用要求；具备高耐温版本，满足气路管道200℃的要求。使用需要注意要配合同样具备脉冲开启/关闭的ms量级时间的电磁阀，这一点很关键；同时配合使用加热器，防止堵塞或是内漏率不合格。
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