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气动隔膜阀

气动隔膜阀常用于ALD设备气路截止阀,一般耐温到80℃,如有特殊要求可定制耐温到150℃产品。洁净等级EP级,内漏外漏漏率均满足使用要求。

所属分类:

气路阀门


产品描述

     气动隔膜阀常用于ALD设备气路截止阀,一般耐温到80℃,如有特殊要求可定制耐温到150℃产品。洁净等级EP级,内漏外漏漏率均满足使用要求。

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