纳米科技 Nano technology


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探针台

探针台特点类型规格*紧凑的结构,轻巧的重量;*结构设计合理,经济实用;*探针操作灵敏,直线度高;*便于维护;Chuck(卡盘)尺寸:4英寸,圆形材质:不绣钢(可升级镀金)旋转角度:0-360°可带角度锁定,精度0.1°X-Y移动行程:4" x4",移动精度:10um(可升级为1um精度)吸附孔:中心孔径最小可做到250微米,最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为4"X4"整体

所属分类:

高低温真空探针台


产品描述

探针台

特点

类型

规格

*紧凑的结构,轻巧的重量;

*结构设计合理,经济实用;

*探针操作灵敏,直线度高;

*便于维护;

Chuck

(卡盘)

尺寸:4英寸,圆形

材质:不绣钢(可升级镀金)

旋转角度:0-360°可带角度锁定,精度0.1°

X-Y移动行程:4" x4",移动精度:10um(可升级为1um精度)

吸附孔:中心孔径最小可做到250微米,最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为4"X4"

整体规格

U型设计,可放置4个高端探针座,中端最多8个探针座

平整度:5um,平台特殊处理,使得探针座吸附更牢固

尺寸:500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜)

重量:50KG(带显微镜)

选配:

 *  Z轴升降行程:5mm,卡盘快速升降,方便更换样品,不会碰触到其他已调试好器件;

 * 卡盘镀金;

 *  搭配射频探针;

 *  视频CCD系统;

 *  防震桌;

 *  屏蔽箱;

 *  加热系统;