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设备集成 Equipment integration
手套箱一体磁控溅射镀膜机
SMS-400手套箱高真空多靶磁控溅射镀膜机 真空腔室：采用立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱体内部，前开门便于靶材和样片在保护环境下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离），整机位于手套箱体下面，节约占地面积;
所属分类：
磁控溅射镀膜机
产品描述
SMS-400手套箱高真空多靶磁控溅射镀膜机
真空腔室：采用立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱体内部，前开门便于靶材和样片在保护环境下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离），整机位于手套箱体下面，节约占地面积;
真空系统：国产分子泵作为主抽泵，真空极限高达2.0✕10-5Pa，另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵，真空极限高达3.0✕10-6Pa；
真空抽速：大气～5✕10-4Pa≤30min（手套箱环境中）；
基片台：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，基片台公转，转速0～20r/min可调，衬底可选择加热(室温～300℃可调可控)或水冷，基片台可选升降，源基距最大350mm；
溅射电源及靶：3~4组射频/直流电源，永磁/强磁靶可选，多元共镀获得复合膜/分镀获得多层膜，功能强大，性能稳定;真空专业溅射电源，恒流/恒功率控制，电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。
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