东南大学电阻热蒸发镀膜机通过验收

2023年3月6日，北京维意真空技术应用有限责任公司完成了向东南大学交付电阻热蒸发镀膜机的工作。

1、腔室尺寸：Ф246×228mm（具体尺寸以设计为准），1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢材质，氩弧焊接； 

2、样品台尺寸：尺寸60×60mm，带基片水冷功能； 

3、真空系统：机械泵（TRP-12,3L/s）+国产分子泵(FF-63/80,80L/s)；GDC-25b电磁挡板阀； 

4、极限真空：2.0×10-4Pa； 

5、真空抽速：大气～8×10-4Pa ≤ 30min； 

6、真空测量：全量程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa； 

7、蒸发源：4组水冷式电阻蒸发源，4组间可切换，源间有防污板； 

8、蒸发电源：直流蒸发电源2台，0W～2000W 连续可调，供4组蒸发源切换使用，可实现 共蒸镀； 

9、膜厚控制系统：国产FTM-107A 单水冷探头，控制精度1Å； 

10、控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护 提示等功能； 

11、设备外形：L60cm×W60cm×H120cm 机电一体化机架，预留1 个CF35 法兰接口； 

12、设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）； 

13、冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的 制冷水；