广东以色列工学院热蒸发镀膜机通过验收

2022年6月14日，北京维意真空技术应用有限责任公司完成了向广东以色列理工学院交付热蒸发镀膜机的工作。

1.需求清单

2.主要技术参数

2.1 腔室尺寸：Ф246×228mm（具体尺寸以设计为准），1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢材质，氩弧焊接；

2.2 样品台尺寸：60 mm *60 mm，带基片水冷、旋转功能；

2.3 真空系统：机械泵（4L/s）+进口Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b电磁挡板阀；

2.4 极限真空：8.0×10-5Pa；

2.5 真空抽速：大气～8×10-4Pa ≤ 30min；

2.6 真空测量：全量程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa；

2.7 蒸发源：3 组水冷式电阻蒸发源，3 组间可切换，源间有防污板；

2.8 蒸发电源：直流蒸发电源1 台，0 W～2000W 连续可调，供3 组蒸发源切换使用；

2.9 膜厚控制系统：进口Inficon SQM-160单水冷探头，精度0.1Å；

2.10 控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；

2.11 设备外形：L60cm×W60cm×H80cm 机电一体化机架，预留1 个CF35 法兰接口；

2.12 设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；

2.13 冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；

3.设备主要配置表

4. 售后服务

4.1 产品质保期：一年；

4.2 在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏；

4.3 在质保期外设备零部件的损坏，提供的配件只收成本费；

4. 4 质保期内或质保期外如设备出现故障，供方接到用户的正式通知（含电话或邮件通知）后，技术人员应于48 小时内，赶到技术服务现场并开始维修。