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09-14
销售工程师
2021-09-15
08-09
前驱体源路数 标准3路前驱体管路，1路吹扫管路;
MEMS的高均匀镀膜，纳米多孔结构镀膜，特种光纤掺杂，太阳能电池
反应腔室、设备管路、前驱体源瓶均采用316L不锈钢制作完成;
真正的实现了系统集工艺配方、参数设置、权限设定、互锁报警
控制部分采用PC机远程控制，PLC和触摸屏本地操控，真正的实现了系统集工艺配方
