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09-14
CVD一步法构建二硫族化合物(TMD)的平面内异质结界面
2021-09-15
媒体报道-ALD软文资料
08-09
前驱体源路数 标准3路前驱体管路，1路吹扫管路;
MEMS的高均匀镀膜，纳米多孔结构镀膜，特种光纤掺杂，太阳能电池
反应腔室、设备管路、前驱体源瓶均采用316L不锈钢制作完成;
真正的实现了系统集工艺配方、参数设置、权限设定、互锁报警
