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中晶环境科技股份有限公司连续卷绕晶化设备通过验收
发布时间:
2017-07-25 20:10
来源:
2017年7月25日,北京维意真空技术应用有限责任公司完成了向中晶环境科技股份有限公司交付连续卷绕晶化设备的工作。
主要技术规范:
1、真空室内腔尺寸:宽×高×深:1950×1050×750(mm)
2、极限真空:1.3×10-4Pa(空载时)
3、抽气时间:从大气到9.7×10-4Pa≤50min
4、升压率:≤5Pa/h。
5、真空测量:双热偶电离复合真空计1台,热偶规2支,大气压-1Pa;电离规2支,10Pa-10-5Pa。
6、可镀卷材:最大幅宽:150mm,最大卷径:φ=400mm
7、卷绕速度:0.1-10mm/min
8、加热器:
加热器高功率:IGBT电源,35KW(可根据用户要求配置)
数量:2个
加热区域:控温精度1℃,温度均匀性3℃
9、气氛控制:3台D07—7B/ZM型气体质量流量计,
10、真空系统:由脂润滑分子泵,前级机械泵,罗茨泵,电磁气动真空阀门,真空管道组成。
11、冷却水:循环冷却水机。
去离子水电导率:小于50μ S /cm
压力:0.1~0.25MPa, 流量:约10T/h,水温<25℃
16、总功率:三相四线,380V,50HZ,80KV。
17、电气控制系统一套,主要元器件均为施耐德品牌。
18、总控系统:PLC控制,互锁设定,触摸屏显示(可根据要求定制)。
可达到的技术指标:
1. 卷绕线速度0.1mm/S-10mm/S,速度均匀,可设定。
2. 岛电PID仪表+IGBT电源自动控温
3. 炉内真空度可控范围200Pa-2000Pa.
4. 工艺气体适应范围0=900sccm
5. 适应卷绕带材厚度0-50um,带材宽度0-100mm。
6. 恒温区长度200mm 预热区长度300mm.恒温区,预热区内径114mm. 测试温度1100摄氏度。温升较快,保温很好,具备升1500摄氏度的条件。
7. 控温精度1摄氏度
8. 真空度从大气压力抽真空至9.9x10-4用时30分钟。
9. 卷绕可适应滚筒最大直径250mm,最小直径63毫米。
10. 装机功率89.9千瓦。
11. 1050摄氏度下运行功率主设备21.4千瓦,冷水机7千瓦。
12. 间歇式工作,一个加热周期为7小时
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