山东大学高真空腔室通过验收

　　2017年3月2日，北京维意真空技术应用有限责任公司完成了向山东大学交付高真空腔室的工作。

　　整个真空腔系统包含真空腔体，真空泵，真空表，高压法兰，备用法兰等

　　1. 真空腔圆柱形，有效尺寸：内腔直径500mm，长500mm。

　　2. 真空度维持1*10-5Pa以下, 新机器测试可到1*10-6Pa

　　3. 端面开圆形门，圆形们和主体圆筒之间由门轴连接。密封垫可多次开关使用。开门方向横向，转向方向为图一箭头所示。

　　4. 桌面有一定的面积作为操作平台。

　　5. 后期需要安装桌面密封罩，因此整个桌面平整，密封，真空腔的所有部分需要离开桌面边缘50mm

　　6. 桌面需要安装220v电源插座一个，从桌下走线，密封桌面的电缆通过陶瓷封结电极法兰贯穿桌面。

　　7. 圆柱水平放置在桌面上，底部有支撑腿，支撑腿为一圈方形支撑，分别和真空腔和桌面之间密封，方形支撑下的桌面掏空，用以链接线缆。

　　8. 圆筒内底侧有支撑轨道，轨道靠近开门的一侧，各打一个销钉孔，轨道上将来放置350mm*500mm的厚度10mm的铝制工作台。

　　9. 连接真空泵管道位于端面上，管道内设置限流阀。防止抽真空和释放真空引起内部明显的气流

　　10. 12小时可以抽气到10-5Pa以下

　　11. 靠近真空腔门，真空电极法兰安装在真空腔的底部，高压电极法兰使用两个七芯耐压12000c，两个41芯耐压1000v。法兰位于平板工作台下侧，两个轨道内侧，靠近真空腔门。真空腔下应有足够空间安装高压法兰接线插座。

　　12. 观察窗法兰一个。安装在侧面超近桌面边缘的一侧，观察窗能够关闭实现完全避光

　　13. .真空计接在真空腔上，桌面内侧。

　　14. 桌子安装四个万向轮

　　15. 真空腔左侧和真空计法兰并排，安装2~3个备用法兰，真空计法兰靠近开门，备用法兰使用标准中型尺寸，可根据真空腔大小调整。在真空腔的底部该位置加装两个备用法兰孔，紧挨着加装的4个真空电极法兰，真空法兰紧靠门，备用孔挨着电极法兰。

　　可达到的技术指标：

　　1. 在真空泵正常运行下，维持真空5*10-6Pa以下，一小时内没有返回10-5Pa

　　2. 开门重新关门后，在真空泵正常运行下，维持真空5*10-6Pa以下，一小时内没有返回10-5Pa以上

　　3. 在工作台上放置石墨粉图样，抽气到1Pa以下，再充气到一个大气压，打开门后，石墨粉图样没有发生变化。

　　4. 安装高压法兰接口线后，测量每两针之间的漏电流，额定电压，漏电流小于0.1nA。